Stage - Compréhension Et Optimisation Post

Il y a 2 mois

Crolles, France STMicroelectronics Temps plein

Position description

**Posting title**:

- STAGE - Compréhension et optimisation post traitement gravure pour BEOL M/F

**Regular/Temporary**:

- Temporary

**Contract duration (nb of months)**:

- 6

**Job description**:

- La miniaturisation des circuits intégrés permet à la fois d’augmenter les performances mais aussi de réduire leur coût. Cependant, cette réduction des dimensions provoque une augmentation du temps de transit dans les interconnexions (BEOL) devant le temps de commutation des transistors. Ainsi, un matériau diélectrique de plus faible permittivité (SiOCH ou SiOCH poreux) est intégré malgré une sensibilité plus élevée au plasma de gravure. L’utilisation d’un masque dur métallique (TiN) apparaît alors comme un choix incontournable dans l’optique de limiter l’endommagement de ces diélectriques lors de l’étape de gravure plasma. Ce mode de fabrication des interconnexions a démontré sa robustesse à travers les nœuds technologiques. Cependant avec le nombre croissant et la très grande variété de produits à développer, cette robustesse doit être continuellement améliorée. Une des voies d’amélioration possible consiste à ajouter un traitement plasma post gravure in situ (PET), dont le but est d’optimiser les performances des dispositifs (réduction de la défectivité en limitant la croissance de résidus sur le masque TiN), après l’étape de gravure des lignes diélectriques.

L’objectif de ce stage sera de comparer l’efficacité de différents post traitements plasma (en chimies réductrices, oxydantes et à base d’hydrocarbures) sur la formation de résidus. Un critère primordial dans le choix du post traitement sera la minimisation de la modification (causée par le PET) sur le matériau diélectrique.

Dans un premier temps, l’influence des paramètres plasma du PET sur la formation des résidus sera évalué par CD-SEM. Des analyses par spectroscopie de photoélectrons X (XPS) seront menées pour comprendre les mécanismes d’interaction plasma/surface rentrant dans la formation de ces résidus. Dans un second temps, la compatibilité des PET avec le diélectrique sera évalué au moyen de différentes techniques de caractérisation (XPS, infrarouge, angle de goutte ). Enfin le meilleur procédé PET sera testé éclectiquement en vue de son déploiement sur les lignes de production.

Ce stage se déroulera principalement sur le site du CEA-LETI qui dispose de tous les moyens de gravure et de caractérisation adéquates pour le succès de ce stage. L’étudiant évoluera dans l’environnement salle blanche du LETI et bénéficiera d’un accès aux équipements de gravure industriel ainsi que d’un accès à la plateforme de nanocaractérisation de MINATEC comprenant de nombreux moyens de caractérisation (FTIR, ATR, MIR, ellipsométrie, XPS).

**Profile**:

- Connaissances en matériaux, plasmas froids
- Autonomie, curiosité, esprit d’équipe, rigoureux

Position location

**Job location**:

- Europe, France, Crolles

**Education level required**:

- 5 - Master degree

**Experience level required**:

- Less than 2 years

**Languages**:

- French (3- Advanced)
- English (1- Basic)

Requester

**Desired start date**:

- 26/02/2024

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    Crolles, France STMicroelectronics Temps plein

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    Crolles, France STMicroelectronics Temps plein

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