Stage - Nouveaux Dépôts Pvd, Cvd Et Ald Pour La

Chez ST, nous croyons à la puissance de la technologie pour stimuler l'innovation et avoir un impact positif sur les personnes, les entreprises et la société. Nous sommes une entreprise mondiale de semi-conducteurs, et notre technologie avancée ainsi que nos puces constituent la partie invisible du monde dans lequel nous vivons aujourd'hui.

Lorsque vous rejoignez ST, vous faites partie d'une entreprise globale de plus de 115 nationalités et présente dans 40 pays, avec plus de 50 000 créateurs et fabricants de technologies microélectroniques à travers le monde Tous ensemble, nous formons une seule et même ST.

ST a reçu la certification Top Employer France et le label HappyTrainees 2024 qui nous reconnaissent en tant qu’employeur de référence et démontrent notre engagement à placer l’humain au cœur de nos priorités.

**A propos de vos missions**

La miniaturisation des composants optiques basés sur des composants microélectroniques, présents dans tous les smartphones actuels nécessite l’intégration de nouvelles photodiodes à base de matériaux III/V, généralement ternaire à base d’In, de Ge et de P, à l’échelle d’une puce fabriquée sur un substrat de silicium. Ceci constitue une des innovations majeures pour les technologies de capteurs optiques, mais aussi un des points critiques en termes de développement. En effet, réaliser ce type de dispositif reste un réel défi car il s’agit d’intégrer au sein d’une plateforme silicium, comme celle de STMicroelectronics à Crolles, des matériaux de type III-V. Après un travail préparatoire conséquent, il est apparu qu’une des étapes clés de cette nouvelle intégration est l’optimisation des contacts ohmiques sur ces matériaux III-V. Les travaux antérieurs ont montré que le dépôt de couches TiN/Ti ainsi que TiN/Ni sur des substrats GaAs représentait une option prometteuse.
Dans ce contexte, le stage proposé s’inscrit dans la continuité d’une collaboration initiée entre l’équipe de dépôts métalliques de STMicroelectronics Crolles, et le département des Plateformes technologiques du CEA-LETI. L’objectif principal de ce stage de 3e année d’école d’ingénieur - ou de master 2 recherche est de caractériser de manière étendu la formation des matériaux intermétalliques après de dépôt de couches minces de Ti et de Ni en contact avec différents substrats III/V. Pour ce faire des recuits ainsi les dépôts des couches minces réactives seront réalisés au sein de la salle blanche du CEA-LETI. Après la réalisation d’échantillons par dépôt physique en phase vapeur (PVD), par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) ou par couches atomiques (ALD) et des recuits adaptés, des caractérisations microstructurales et électriques seront mises en œuvre notamment l’AFM (Atomic Force Microscopy), la microscopie électronique à balayage, la caractérisation des phases en présence (analyses par diffraction de rayons X, ToF-SIMS soit la spectroscopie d’ions secondaires par temps de vol) ainsi que des mesures de résistances surfaciques pour identifier si la formation des phases en présence permet une réduction de la résistivité des contacts.

Les différents axes d’études sont : 1) Identifier pour des substrats III/V spécifiques la meilleure préparation de surface grâce aux mesures ToF-SIMS de la contamination d’oxygène à l’interface et des mesures AFM complémentaires 2) l’influence du type de métallisation (Ti ou Ni) notamment sur la séquence des phases et leurs stabilités en températures, 3) Déterminer l’influence de la nature du dépôt d’encapsulation, TiN, sur celles-ci (PVD versus ALD). 4) Estimer l’impact des dépôts W utilisés pour remplir les contacts réalisés par CVD sur la stabilité des matériaux intermétalliques ainsi formés.

Une thèse CIFRE sera lancée de manière à poursuivre ce travail de recherche jusqu’en 2028.

**A propos de vous**

Connaissances en micro-électronique et en thermodynamique

Connaissances en physique des matériaux et méthodes de caractérisations associées à l’étude des films minces.

Nous rejoindre, c'est aussi opter pour un meilleur équilibre entre vie professionnelle et vie personnelle, et un environnement de travail offrant des opportunités égales. Des groupes de ressources dédiés aux femmes, aux LGBTQIA+, des possibilités d’organisation du travail hybrides font partie des nombreuses initiatives qui font de ST un endroit propice pour le développement de votre carrière.