Etude Du Dépôt Sélectif de Sio2 Par Peald

Description du poste

**Domaine**:

- Sciences pour l'ingénieur

**Contrat**:

- Stage

**Intitulé de l'offre**:

- Etude du dépôt sélectif de SiO2 par PEALD H/F

**Sujet de stage**:

- La fabrication des dispositifs nanoélectroniques des nœuds technologiques les plus avancés nécessite des techniques de patterning innovantes. En parallèle de l'approche conventionnelle de lithographie/gravure, le dépôt sélectif localisé ou Area Selective Deposition (ASD) par dépôt de couches atomiques (ALD) pourrait permettre de simplifier leurs intégrations, comme par ex. dans le cas de transistors FDSOI avancés.

**Durée du contrat (en mois)**:

- 6 mois

**Description de l'offre**:
**Rejoignez-nous en Stage **

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En tant que stagiaire au CEA, vous aurez l'opportunité de travailler au sein d'un environnement de recherche de renommée mondiale. Nos équipes sont composées d'experts passionnés et dédiés, offrant un cadre propice à l'apprentissage et à la collaboration. Vous aurez accès à des équipements de pointe et à des ressources de recherche de premier ordre pour mener à bien vos missions.

**Description du poste**:
Pour la microélectronique du futur, le dépôt sélectif localisé ou Area Selective Deposition = ASD [1] constitue une approche prometteuse pour simplifier les schémas d’intégration des nœuds technologiques les plus avancés. Ces approches d’ASD nécessitent d’être adaptées en fonction d’un trinôme comprenant le matériau à déposer, la surface de croissance et la surface inhibée. On se propose ici d’étudier le dépôt d’oxyde de silicium (SiO2) sur Si ou SiO2 vs le nitrure de silicium (SiN) [2] qui est l’un des sujets les plus complexe en ASD et d’évaluer l’intérêt de ce type de procédé pour la réalisation de transistors FDSOI avancés [3].

Pour développer ce procédé de dépôt sélectif de SiO2, différentes approches permettant de rendre le SiN inhibiteur à la croissance du SiO2 seront étudiées (traitements plasma, Small Molecular Inhibitor, combinaison des deux,). Le dépôt sélectif de SiO2 sera réalisé par Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD).

Ce stage de 6 mois se déroulera au CEA-LETI, dans le service de dépôt de matériaux avancés. L’étudiant aura accès aux plateformes de réalisation en salle blanche pour les dépôts de couches minces par PEALD et à la plateforme de nanocaractérisation. Des analyses de surface et caractérisations des couches minces (ellipsométrie, XRR, AFM, FTIR, angle de goutte, SEM, XPS, Tof-SIMS) permettront d’identifier la meilleure sélectivité.

Le début du stage est prévu vers Fév. 2026 avec une possibilité de continuité en thèse.

Pour aller plus loin:
Mots clés:
Stage M2 6 mois ; Microélectronique ; Matériau couche mince ; ALD ; Sélectivité, ASD ; Nanocaractérisation

**Moyens / Méthodes / Logiciels**:

- Plateformes technologiques de réalisation et de nanocaractérisation

**Qu’attendons-nous de vous ?**

Vous préparez un diplôme de niveau Master2 ou école d'ingénieur en Matériaux / Microélectronique / Physique - Chimie

Vous êtes force de proposition et faites preuve d'esprit de synthèse, d'autonomie, de rigueur ainsi que d'esprit d'équipe.

**Rejoignez-nous, venez développer vos compétences et en acquérir de nouvelles **

Localisation du poste

**Site**:

- Grenoble

**Localisation du poste**:

- France, Auvergne-Rhône-Alpes, Isère (38)

**Ville**:

- Grenoble

**Langues**:

- Anglais (Courant)

**Diplôme préparé**:

- Bac+5 - Master 2

**Formation recommandée**:

- Ecole d'ingénieur ou Master 2

**Possibilité de poursuite en thèse**:

- Oui

Demandeur

**Disponibilité du poste**:

- 02/02/2026

Informations générales

**Entité de rattachement**:
Le CEA est un acteur majeur de la recherche, au service des citoyens, de l'économie et de l'Etat.

Il apporte des solutions concrètes à leurs besoins dans quatre domaines principaux : transition énergétique, transition numérique, technologies pour la médecine du futur, défense et sécurité sur un socle de recherche fondamentale. Le CEA s'engage depuis plus de 75 ans au service de la souveraineté scientifique, technologique et industrielle de la France et de l'Europe pour un présent et un avenir mieux maîtrisés et plus sûrs.

Implanté au cœur des territoires équipés de très grandes infrastructures de recherche, le CEA dispose d'un large éventail de partenaires académiques et industriels en France, en Europe et à l'international.

Les 20 000 collaboratrices et collaborateurs du CEA partagent trois valeurs fondamentales:

- La conscience des responsabilités
- La coopération
- La curiosité

**Référence**:2025-37255

**Description de l'unité**:

- Laboratoire de dépôts de matériaux avancés

En nous rejoignant, vous contribuerez au développement de matériaux couches minces utilisés dans l'industrie française et européenne de demain.